Silan (SiH₄)

Silan (SiH₄)

Pyrophores, farbloses Gas; entzündet sich an Luft spontan und wird in der Halbleitertechnik verwendet.

Kann gemessen werden mit:

✓ messbar mit dem air-Q Science auf Anfrage.

air-Qs, mit Sensor für

Silan (SiH₄)

Entstehung/Vorkommen:

Technische Herstellung; CVD‑Prozesse, Dünnschicht‑Solarzellen.

Grenzwerte:

Arbeitsplatzgrenzwerte bestehen; primäre Gefahr ist spontane Entzündung/Explosion.

Folgen:

Verbrennungs‑/Explosionsgefahr; Inhalation von Zersetzungsprodukten reizt die Atemwege.

Sicherheit:

Inertgas‑Spülungen, Abgasverbrennung/‑Waschung, Leckdetektion.

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